[发明专利]一种直流复合双极性脉冲进行细长管筒内磁控溅射的方法在审
| 申请号： | 202211599296.4 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN115786847A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 田修波;胡天时;巩春志 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种直流复合双极性脉冲进行细长管筒内磁控溅射的方法，它属于磁控溅射镀膜领域。它解决了现有管筒件内放电难，稳定性差，膜层质量差的问题。本发明中待镀管和柱状靶分别接电源正极和负极，在二者之间进行二极放电。放电电源采用直流复合双极性脉冲电源，放电模式可在直流、脉冲、双极性脉冲以及直流复合双极性脉冲的放电模式中进行切换，通过直流部分增强放电稳定性和沉积速率；通过负脉冲放电增强离化，为后续正脉冲的牵引做准备；通过正脉冲牵引等离子体中离子加速向待镀管运动，对膜层进行轰击夯实，改善膜层质量，最终实现细长管筒内壁快速、高质量的磁控溅射膜层制备。本发明适用于细长管筒内壁磁控溅射镀膜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直流 复合 极性 脉冲 进行 细长 管筒内 磁控溅射 方法 | ||
【主权项】：
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