[发明专利]一种混合酸制备铝合金硬质阳极氧化膜层的方法在审

专利信息
申请号: 202211607348.8 申请日: 2022-12-14
公开(公告)号: CN116200788A 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 王承波 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司
主分类号: C25D11/08 分类号: C25D11/08;C25D11/10;C25D11/16;C25D11/24
代理公司: 合肥市博念易创专利代理事务所(普通合伙) 34262 代理人: 尚秘
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种混合酸制备铝合金硬质阳极氧化膜层的方法,涉及制备阳极氧化膜方法技术领域,针对目前氧化膜生成的膜层厚度最高在80um左右,同时在氧化后段由于膜层厚度的提升,其膜层孔洞呈喇叭孔状,所以气密性及耐热冲击性能也较差,产生较多次数的返修,缩短了零件的使用寿命的问题,现提出如下方案,包括以下步骤:S1:抛光:使用180#砂纸、320#砂纸与400#砂纸对基材表面进行抛光,去除基材表面毛刺、划痕、腐蚀斑点等表面缺陷。本发明设计合理,制备的铝阳极氧化膜,只需经过3h阳极氧化,即可制备得到80‑90um厚度的阳极膜,扩大阳极处理工艺在半导体及面板设备表面处理工艺上的使用范围。
搜索关键词: 一种 混合 制备 铝合金 硬质 阳极 氧化 方法
【主权项】:
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