[发明专利]一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202211612388.1 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN115901040A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 徐承义;刘素夫;雷卫武 | 申请（专利权）人： | 松诺盟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105 | 代理人： | 肖琦 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括：本体；所述本体上设置有两个敏感区域；所述敏感区域上设置有四个纳米敏感电阻；所述纳米敏感电阻形成惠斯通电桥；所述纳米敏感电阻包括：绝缘层、应变敏感层、焊盘和保护层；所述应变敏感层为NiCrMnMoSi层。本发明中传感器采用一体化弹性体设计，将纳米敏感电阻直接布有整体式弹性体上，减少纳米敏感电阻的装配过程；同时还能减少应力影响，从而有效提高精度，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 轴销力 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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