[发明专利]制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202211614903.X | 申请日： | 2022-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN115976479A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 杨元才;户家周;熊凯;杨喆 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/16;H01M8/0228;H01M8/0213 |
| 代理公司： | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人： | 黄裕 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备，采用了一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及其真空镀膜设备，通过镀膜设备预热：镀膜设备的腔体第一次清洗；镀膜设备的腔体第二次清洗；Ti元素第一次打底沉积，Ti元素第二次打底沉积；TiN反应溅射沉积；TiCN反应溅射沉积阶段；反复TiN和TiCN沉积以及类石墨涂层沉积以及关闭设备等步骤以后，实现了制备双极板氢燃料电池的表面耐腐蚀涂层，解决了现有技术中氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的技术问题，提升了氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 极板 表面 腐蚀 涂层 方法 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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