[发明专利]一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法在审
| 申请号： | 202211629632.5 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN116005126A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 宋国新;浦东云 | 申请（专利权）人： | 金源康（惠州）实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 刘林艳 |
| 地址： | 516000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明申请公开了一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法，涉及PVD镀膜装置技术领域；本申请包括:镀膜箱，所述镀膜箱上设置有镀膜组件和真空组件；轴杆，转动贯穿所述镀膜箱，所述轴杆上呈上下分布设置有两个承载板；若干个挂管，呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板上；本申请通过在挂管内同轴转动设置挂杆，在圆盘壳上呈环形阵列设置若干个支杆，使得挂管的外周侧均可以环绕挂设若干个工件，使得工件的安置数量多，通过第一联动件与第二联动件的设置，使得挂管在随着承载板转动时还能自转，若干个支杆在随着圆盘壳转动时还能自转，使得挂设的若干个工件可以各自进行自转，使得对工件的镀膜效果好，镀膜均匀，以提高对工件的加工品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 旋转 连续 pvd 镀膜 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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