[发明专利]一种氩气混氢气的混配系统以及混配方法在审
申请号: | 202211634816.0 | 申请日: | 2022-12-19 |
公开(公告)号: | CN115957647A | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 刘善斌;李建新;冯焕鹏;张勇;马鹏;陈公哲;关浩;金俊斌;才正彬;徐倩 | 申请(专利权)人: | 上海亿钶气体有限公司 |
主分类号: | B01F23/10 | 分类号: | B01F23/10;B01F35/83;B01F35/21;B01F35/221;B01F35/82;B01F35/22 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 张鸿基 |
地址: | 200333 上海市普陀*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种氩气混氢气的混配系统以及混配方法,其包括混配器;氢气控制管路,氢气控制管路上设置有流量控制装置;氩气控制管路,氩气控制管路上设置有流量计量装置;浓度检测装置,浓度检测装置设置在混配器的输出端;PID控制系统,浓度检测装置检测到的氢气浓度数值传输给PID控制系统,PID控制系统根据检测到的氢气浓度数值与预设的氢气浓度数值作对比分析后反馈控制信号给流量控制装置,控制流量控制装置输出一定的氢气流量。本申请中PID控制系统能结合浓度检测和流量检测两者的数据进行分析,从而控制流量控制装置对氢气的输出量进行控制,进而提高氢气在电子混合气体中的占比精度,有效提高混配精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 氩气混 氢气 系统 以及 配方 | ||
【主权项】:
暂无信息
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