[发明专利]缓冲单元和包括缓冲单元的基板处理装置在审
| 申请号： | 202211642750.X | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116281185A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 裴钟国;尹太源;金昌浩;郑显阳;严成勋 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/687;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;石宝忠 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种缓冲单元和基板处理装置，在该缓冲单元中，多个支撑板沿竖直方向堆叠并且连接块设置在多个支撑板之间，以防止在支撑板的下端产生的振动传递至上支撑板。根据本发明，可以减少在缓冲单元中产生的振动，从而具有改善基板处理工艺效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 单元 包括 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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