[发明专利]晶圆预对准装置及晶圆预对准方法

摘要

本申请公开了一种晶圆预对准装置及晶圆预对准方法，晶圆预对准装置包括：承载组件，用于承载晶圆及带动晶圆绕承载组件的旋转轴转动；移动组件，用于带动晶圆在垂直于旋转轴的方向移动；光源组件，位于晶圆的第一侧，用于产生多个朝向晶圆出射的光学条纹，光学条纹均与晶圆的周向边缘相交；线阵图像传感器，位于晶圆的第二侧，用于接收光学条纹并生成用于表征周向边缘的灰阶图像；控制器，用于根据灰阶图像确定晶圆的中心和承载组件的中心的偏差，并进行相应补偿。根据本申请的晶圆预对准装置及晶圆预对准方法，能有有效提高预对准的精度。