[发明专利]用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置在审
申请号: | 202211662275.2 | 申请日: | 2022-12-23 |
公开(公告)号: | CN115792281A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 来新泉;黄铭豪;王宇恒;李文岑;李继生 | 申请(专利权)人: | 西安水木芯邦半导体设计有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;G01P1/00 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 谭穗平 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区唐*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构及装置,其包括传感单元、转换单元、解调单元、减法单元以及滤波单元,其中,传感单元用于接收三轴加速度信号,根据三轴加速度信号耦合输出一路调制电荷信号;转换单元与传感单元连接,用于将调制电荷信号转换为调制电压信号;解调单元与转换单元连接,用于将调制电压信号解调为三路差分电压信号;减法单元与解调单元连接,用于将三路差分电压信号转换为三路单端电压信号;滤波单元与减法单元连接,用于滤除三路单端电压信号的噪声与高频分量。本发明所公开的用于MEMS电容式加速度计读出电路的三路复用架构节约了资源和成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 mems 电容 加速度计 读出 电路 三路复用 架构 装置 | ||
【主权项】:
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