[发明专利]射频电源自动调谐装置和方法在审
| 申请号： | 202211666217.7 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN116169003A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 沈辉;陈延龙;侍尉;郭锡岩;景加荣 | 申请（专利权）人： | 上海裕达实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/42;G01R19/00 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 韩成玲 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种射频电源自动调谐装置和方法，包括：微控制器单元(3)、频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)，电压采集单元(6)；通过对输出频率步进变化的方式，对射频电源进行频率控制，并采集调谐电压；将调谐电压反向变动前的输出频率认为是谐振频率。本发明实现了通过频率对射频电源进行自动调谐，与传统的电容及电感调谐方式相比更方便，并且所使用的对谐振点的判断依据比传统输入电流判断依据更为准确。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 自动 调谐 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海裕达实业有限公司，未经上海裕达实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211666217.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
