[发明专利]一种回旋管管体除气方法在审
| 申请号： | 202211669491.X | 申请日： | 2022-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN115863123A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王鹏康;沈旭东;候信磊;王冰冰;孙梅林;陈明龙;吴磊;周秋俊 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/39 | 分类号： | H01J9/39 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 李志起 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空器件制造领域，一种回旋管管体除气方法，所述除气方法包括如下步骤:包括回旋管管体安装到除气设备上之前进行电性能检测、回旋管管体安装到除气设备上、回旋管管体除气前检漏处理、回旋管管体除气烘烤、回旋管管体灯丝加电、回旋管管体除气后检漏处理、回旋管管体封离除气设备；本发明公开了一种回旋管管体除气方法，本发明通过上述除气方法，基本能够排除回旋管管体内部的气体，使得回旋管得到高真空工作环境，提高回旋管工作可靠性和延长管子寿命，同时该方法工艺重复性和一致性高，利于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回旋 管管 方法 | ||
【主权项】：
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