[发明专利]一种基于光放大器和硅光微腔的激光器在审
申请号: | 202211671448.7 | 申请日: | 2022-12-26 |
公开(公告)号: | CN115799983A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 武爱民;刘晨阳;冯大增 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/065 |
代理公司: | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人: | 钱文斌 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于光放大器和硅光微腔的激光器,包括:衬底;反射型半导体光学放大器,置于所述衬底上,并在光输入侧镀有抗反射膜,在所述光输入侧的对侧镀有高反射膜;基于亚微米SOI平台的光学微腔,置于所述衬底上,并与所述反射型半导体光学放大器进行倒装焊耦合。本发明能够提高器件集成度,降低耦合损耗与封装成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 放大器 硅光微腔 激光器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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