[发明专利]YBCO靶材的制造方法及靶材模具在审
申请号: | 202211700069.6 | 申请日: | 2022-12-28 |
公开(公告)号: | CN116023127A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 冯中沛;杨景婷;柳伟;许波;郑鑫;金魁;袁洁;赵忠贤 | 申请(专利权)人: | 松山湖材料实验室 |
主分类号: | C04B35/45 | 分类号: | C04B35/45;C04B35/505;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/08;C23C14/06;B28B7/00 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;岳丹丹 |
地址: | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 公开了一种YBCO靶材的制造方法及靶材模具,方法包括:采用固相反应法制备靶材粉料;将靶材粉料放置在靶材模具中后进行热烧结,以获得靶材;其中,所述靶材的致密度大于95%。本申请提供的YBCO靶材的制造方法及靶材模具,通过多次研磨及预烧结降低原材料颗粒度,以及通过放电等离子辅助热压烧结或冷压法制备的靶材,表面光滑、致密度达95%以上。 | ||
搜索关键词: | ybco 制造 方法 模具 | ||
【主权项】:
暂无信息
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