[发明专利]一种氮化铪基涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202211713712.9 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116377384A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李宇涵;南勋;王博;王诗阳 | 申请（专利权）人： | 嘉兴鸷锐新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人： | 牛娟妮 |
| 地址： | 314032 浙江省嘉兴市秀*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化铪基涂层及其制备方法和应用，属于涉及涂层材料技术领域。所述氮化铪基涂层的制备步骤包括：先用离子源在氮气气氛下轰击基体表面，再在基体表面沉积纯HfN涂层或HfN复合涂层，得到所述氮化铪基涂层；所述HfN复合涂层为HfN与TiN和/或ZrN复合。本发明通过使用离子源在氮气气氛下轰击基体表面，使其表面氮化从而抑制涂层中HfN与基体中的Co，W，C反应生成η相，提高涂层结合强度，大幅降低了含HfN基涂层在使用时的剥落状况，进而提高其涂层刀具使用寿命，并通过与TiN，ZrN的复合使其获得更加全面的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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