[发明专利]一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法在审
| 申请号： | 202211723164.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116008475A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 黄梦可 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 深圳天融专利代理事务所(普通合伙) 44628 | 代理人： | 李丽雯 |
| 地址： | 200810 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法，包括步骤100：提供检测晶圆盒内VOCs的装置，包括晶圆盒、三通阀、检测模块和补气模块，分别与三通阀连接；晶圆盒包括出气口，与三通阀连接；出气口是晶圆盒的不具备过滤部件的过滤口，或者，出气口是在第一状态和第二状态下具备过滤部件的过滤口密闭的晶圆盒与外界连通的唯一通道；步骤200：检测模块检测晶圆盒导出的待检测气体的VOCs；步骤300：补气模块向晶圆盒导入补充气体，所述模块包括气源，用以向晶圆盒提供补充气体；继续执行步骤200～步骤300以形成循环，实时检测所述晶圆盒中的VOCs。具有有益效果：改进现有晶圆盒结构，直接检测晶圆盒内VOCs，结果更准确；实现实时循环检测，可实时监控晶圆盒内污染物情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 检测 晶圆盒中 vocs 方法 | ||
【主权项】：
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