[发明专利]扫描式哈特曼像质检测系统和方法在审
| 申请号： | 202211725620.2 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN115931314A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张为国;杨伟斌;熊欣;高明友;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 珠海迈时光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J9/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 尹长斌 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式哈特曼像质检测系统和方法，涉及光学检测技术领域。扫描式哈特曼像质检测系统包括沿光路传播方向依次设置的激光器、可变光阑、待测镜头、扩束镜和哈特曼传感器，还包括数据采集卡、移动机构和上位机；数据采集卡用于采集哈特曼传感器的检测信号并发送至上位机进行处理；移动机构用于根据上位机的控制指令，控制哈特曼传感器进行旋转或者平移；其中，哈特曼传感器包括间隔设置且固定连接的线阵微透镜阵列和线阵探测器。根据本发明实施例的扫描式哈特曼像质检测系统，通过采用线阵探测器，并结合旋转平移的方式发挥其成像较长的优点，在光学检测时能够增大视场，且相对面阵探测器而言价格较低，在一定程度上降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 式哈特曼像 质检 系统 方法 | ||
【主权项】：
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