[发明专利]一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜在审
| 申请号： | 202211728006.1 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN115980994A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 姜新泉;奚庆新 | 申请（专利权）人： | 苏州璇光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 丁海华 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜，包括双框架万向节(1)，双框架万向节(1)上设有十字连接架(6)，十字连接架(6)的顶部设有镜面(3)，十字连接架的(6)的底面上设有多个磁性体(4)，磁性体(4)下方设有相对应的通电螺线管(5)；本发明可以提供更大的驱动力来灵活调节镜面的扫描角度，且具有承载可靠性佳的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 驱动 直径 mems 微镜 | ||
【主权项】：
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