[发明专利]晶圆检测装置、方法、计算机可读储存介质以及电子设备在审
| 申请号： | 202211728412.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116046800A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;周佐达;罗海燕;魏来;瞿顶军;丁睿哲;李志伟;金伟;洪津 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;刘兵 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种晶圆检测装置、方法、计算机可读储存介质以及电子设备，属于光学检测技术领域。晶圆检测装置，包括测量组件、检测电路以及扫描台，测量组件包括照明单元以及反射测量单元，照明单元用于为晶圆探测区域提供照明聚焦光，反射测量单元用于接收晶圆表面的反射光，并将反射光划分为第一检测光以及第二检测光；检测电路用于根据测量组件的反射光检测晶圆表面缺陷以及膜厚，检测电路包括加法器以及除法器，加法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相加，除法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相除；扫描台用于放置晶圆。该晶圆检测装置能够快速且同时完成晶圆表面缺陷检测以及膜厚检测。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 计算机 可读 储存 介质 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
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