[发明专利]倒凸型结构光刻胶条的制作方法及金属图形的制作方法在审
| 申请号： | 202211731871.1 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN115951566A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 盛况;任娜;熊丹妮;徐弘毅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/027;H01L21/3205;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种倒凸型结构光刻胶条的制作方法及金属图形的制作方法。本发明提供表面具有一定厚度的负性光刻胶层的基底，对基底表面的光刻胶层进行不充足曝光，在对光刻胶层进行第一和第二显影，实现充分显影，最终形成具有倒凸型结构的光刻胶条。本发明中的光刻胶层具有倒凸型结构，在基底表面与倒凸型结构光刻胶条表面沉积金属层时，由于金属层的厚度小于底部光刻胶层的厚度，使得基底表面的金属层与顶部光刻胶层的边缘断开，且倒凸形结构与基底的接触面积更小，使得光刻胶与金属的彻底断开，保证了形成的金属图形中金属线条的尺寸，金属层也不会和光刻胶层的侧壁粘在一起，达到改善金属剥离效果的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 倒凸型 结构 光刻 制作方法 金属 图形 | ||
【主权项】：
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