[发明专利]一种高纯石英硅片蚀刻溶剂配置设备及制备方法有效
| 申请号： | 202211735045.4 | 申请日： | 2022-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN116078244B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 徐源;徐煜清;徐传龙;冯维娥 | 申请（专利权）人： | 江苏弘扬石英制品有限公司 |
| 主分类号： | B01F33/452 | 分类号： | B01F33/452;B01F33/82;B01F35/00 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯石英硅片蚀刻溶剂配置设备及制备方法，包括储液箱、集液盒、限位框，所述储液箱的顶板上放置有第一量杯和第二量杯，所述储液箱的左右侧板之间插装有混液管，所述限位框的顶面上安装有气缸，所述气缸的伸缩杆连接升降板，所述升降板上开设有插孔，所述插孔内插装有撞击件，所述限位框的左侧设置有金属板，所述金属板上放置有电磁铁和底座，所述底座的顶端螺装有滑轨，所述滑轨上放置有滚珠，所述撞击件的一端面上插接有撞杆。该高纯石英硅片蚀刻溶剂配置设备及制备方法，利用电磁铁接电形成梯度磁场，使滚珠在滑轨上加速滚动，对撞击件产生巨大冲击力，撞击件快速穿过混液管，使管内溶液快速混合，利用混液管与管套配合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 石英 硅片 蚀刻 溶剂 配置 设备 制备 方法 | ||
【主权项】：
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