[发明专利]一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法在审
| 申请号： | 202211741730.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116046941A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟;胡明华;张锁慧;李宁;潘新刚 | 申请（专利权）人： | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/06;G01N30/34;G01N30/86 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 陶柳涛 |
| 地址： | 221003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，所述测试方法包括以下步骤：a1)配置至少3组不同浓度的光刻胶树脂单体的标准溶液；a2)采用有机溶剂对光刻胶树脂样品中残余单体进行萃取，得到样品溶液；a3)采用高效液相色谱法分别测定标准溶液和样品溶液，测定得单体的峰面积；a4)测试标准溶液，绘制浓度—峰面积标准曲线；测试样品溶液，峰面积代入相对应的单体标准曲线计算得样品中光刻胶树脂中残余单体含量本发明提供方法操作简单，能对多种残余单体和杂质进行有效分离和定量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 树脂 残余 单体 含量 测试 方法 | ||
【主权项】：
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