[实用新型]一种半导体光学滤光膜检测设备有效
申请号: | 202220081893.7 | 申请日: | 2022-01-13 |
公开(公告)号: | CN217289369U | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 郑代祥;王立江;陆海东 | 申请(专利权)人: | 苏州普洛泰科精密工业有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 北京众允专利代理有限公司 11803 | 代理人: | 王景禾 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及电子设备技术领域,尤其涉及一种半导体光学滤光膜检测设备。包括设备机架、设置在设备机架内的固定安装架、设置在固定安装架上的工作平台,所述工作平台上设置有供料单元、搬运臂机构、光学相机检测单元、搬运臂机械手交接单元、补料单元、若干不良品回收盒、下料单元,所述供料单元设置在所述工作平台的首端,所述搬运臂机构左右分别设置在供料单元的两侧,所述光学相机检测单元设置在搬运臂机构旁,所述搬运臂机械手交接单元设置在光学相机检测单元后侧,所述补料单元设置在所述搬运臂机构中间,且与搬运臂机构相互垂直设置,所述下料单元设置在工作平台的尾端。本实用新型的有益之处:提高检测效果和生产效率,降低投资成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 光学 滤光 检测 设备 | ||
【主权项】:
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