[实用新型]一种基于空芯光纤的探针式F-P干涉仪氢气浓度传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于空芯光纤的探针式F‑P干涉仪氢气浓度传感器，由可调谐激光器、环形器、传感头、氢气发生器、光电转换器以及示波器组成。单模光纤与锥化处理后单模光纤端面在空芯光纤中形成法布里‑珀罗干涉仪。锥化处理后单模光纤的锥腰部分镀有钯银合金薄膜，钯银合金薄膜遇到氢气后体积膨胀，导致形成悬臂梁结构的光纤锥的本征频率改变。应用时，通过监测本传感器的本征频率的变化量即可解调出氢气浓度的改变。本实用新型的响应速度优于基于WO3的氢气浓度传感器；且本传感器的传感头部分镀有钯银合金薄膜，避免了钯的氢脆现象，可用于氢气浓度的高精度测量。