[实用新型]一种单晶炉重力分离给料装置有效
申请号: | 202220119303.5 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN217147788U | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 王晓明;宋涛 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B65G53/34 | 分类号: | B65G53/34;B65G53/36;B65G53/60;B65G65/44;B65G65/00;B65G69/00 |
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地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉重力分离给料装置,所述单晶炉重力分离给料装置与送料机构连通,所述单晶炉重力分离给料装置包括箱体,所述箱体的底部可拆卸固定在单晶炉主室的炉盖上,所述送料机构的出料管从箱体顶部伸入箱体内;重力分离仓,用于缓冲送料机构传送来的硅料的下料速度,所述重力分离仓的进料口一位于所述出料管的正下方,且进料口一的内径大于出料管外径;振动给料机,用于将重力分离仓内的硅料按照设定速度传送至单晶炉主室内,所述箱体内从上到下设置有所述重力分离仓和所述振动给料机,所述重力分离仓的底部的出料口位于振动给料机的给料仓中,所述给料仓与单晶炉主室炉盖上的进料口连通。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 重力 分离 装置 | ||
【主权项】:
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