[实用新型]一种非真空的高低温探针台

摘要

本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种非真空的高低温探针台。其技术方案包括：壳体、导气槽、安装壳和密封组件，壳体的顶部外侧安装有四组安装板，壳体的顶部安装有密封组件，密封组件内安装有密封罩，密封罩的内部安装有保温板，密封罩内部的底部两侧安装有导流管，密封罩内部的底部安装有磁吸座，密封罩的顶部安装有顶盖。本实用新型通过在密封罩的内部安装有磁吸座，能够通过磁吸座对硅晶圆进行磁力吸附，进而可以对硅晶圆进行限位固定，以便于增加硅晶圆与装置之间的摩擦力，方便对硅晶圆进行位置的调节，增加了硅晶圆位置调节的精度，进而可以使工作人员更加方便的对待检测部位进行调节。