[实用新型]一种移动式多次送料机构

摘要

本实用新型公开了一种移动式多次送料机构，包括：料罐，料罐内存放有硅料，料罐的底部设有出料口，出料口的下方安装有下料阀；料罐的出料口通过出料管连通至单晶炉主室的进料口，料罐的侧壁上端设有抽气口和进气口，进气口通过氩气阀一与氩气气源连通，料罐的一侧设有氩气旁路，氩气旁路与出料管靠近下料阀的一端连通，氩气旁路上设有氩气阀二；抽气组件，抽气组件的一端与料罐的抽气口连通，其另一端与辅泵连通，抽气组件用于给料罐抽真空；移动小车，料罐可拆卸固定在移动小车上。本实用新型通过将料罐设置于移动小车上，可以实现料罐的转移，不仅可以给单台单晶炉多次加料，也可重复给多台单晶炉使用。