[实用新型]一种安全环保的精馏氯硅烷废液无害化处理装置

摘要

本实用新型公开了一种安全环保的精馏氯硅烷废液无害化处理装置，属于氯硅烷废液无害化处理装置技术领域，在原有精馏回收系统末端增设一台残液缓冲罐、一台循环水解槽、一台循环泵及循环水池，回收系统富集的残液排放至残液缓冲罐，通过氮气加压送至循环水解槽，通过循环泵送来循环液逆向接触进行水解，经水解反应的氯化氢气体通过循环水解槽尾气排放阀排放，然后至废气系统淋洗排放，水解生成的固体物质通过循环水解槽出液阀排放至循环水池，沉淀收集处理，实现了及时有效处理精馏生产所产生的废液，保证精馏工艺生产的产品质量，及解决废液长期存放生产区的安全环保隐患。