[实用新型]晶圆分离机构有效
| 申请号： | 202220235512.6 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN217946879U | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 李迁;童灿钊;赵冬冬;刘航;刘佳鑫;刘盛;巫礼杰;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 张小燕 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆分离机构，包括驱动装置、连接架、吸取组件和控制装置；吸取组件包括吸取装置和感应装置，感应装置的一端与连接架连接，感应装置的另一端与吸取装置连接；驱动装置用于驱动连接架上下移动，以使吸取装置吸取承载晶圆并使承载晶圆与固定在载台上的器件晶圆分离；驱动装置、感应装置和控制装置电连接；感应装置用于检测承载晶圆与器件晶圆分离过程中的拉力并反馈至控制装置；控制装置用于根据感应装置反馈的拉力超过拉力预设值时，控制驱动装置停止工作。与现有技术相比，实现了自动化分离承载晶圆和器件晶圆，感应装置能检测承载晶圆和器件晶圆分离过程中的拉力，避免强行分离造成损坏，有利于保护承载晶圆与器件晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 机构 | ||
【主权项】：
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