[实用新型]一种压电式MEMS加速度传感器有效
| 申请号： | 202220244457.7 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN216792269U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS加速度传感器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成在振动支撑层上方；第一压电层，形成在第一电极层上方；第二电极层，形成在第一压电层上方；第一开口槽和第二开口槽，均位于第一压电层上方，并且均从第二电极层的上表面连续延伸至第一压电层的上表面，第一开口槽位于第二开口槽的外围，并且第一开口槽和第二开口槽将第二电极层分割成外环电极层和内环电极层；质量块，位于空腔内，并且质量块与振动支撑层直接接触。本申请的压电式MEMS加速度传感器将第二电极层电极设置包括外环电极层和内环电极层，从而提高了输出灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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