[实用新型]一种用于硅外延工艺的气流控制装置

摘要

本实用新型涉及硅外延技术领域，且公开了一种用于硅外延工艺的气流控制装置，包括顶针，所述顶针的外部设置有调节机构，所述调节机构包括针筒、固定筒和弹簧，所述固定筒固定连接在针筒的表面，所述固定筒的表面开设有有喷射孔，所述固定筒的两侧设置有圆形通孔，所述顶针的底部为倾斜设置，所述顶针与固定筒滑动连接，所述弹簧固定连接在顶针和针筒之间，所述弹簧与针筒滑动连接，所述调节机构还包括千分尺微分头和连接杆，所述连接杆的底部与顶针连接，所述千分尺微分头与连接杆的顶部连接。一种用于硅外延工艺的气流控制装置，通过设置调节机构的作用，整个装置达到方便对气流的流量进行调节的作用。