[实用新型]一种用于陶瓷电容式压力传感器芯体基板的侧边打磨设备有效

专利信息
申请号: 202220310835.7 申请日: 2022-02-16
公开(公告)号: CN216859266U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 赵兴奎;沈河江;廖景昌;周宇波;黄河 申请(专利权)人: 襄阳臻芯传感科技有限公司
主分类号: B24B21/00 分类号: B24B21/00;B24B21/18;B24B41/06;B24B47/00
代理公司: 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 代理人: 李斌
地址: 441106 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型涉及了一种用于陶瓷电容式压力传感器芯体基板的侧边打磨设备,包括打磨机构;打磨机构包括打磨下组件、打磨上组件、打磨单元;打磨下组件包括下工装板和安装在下工装板上的至少一个工装单元;工装单元包括筒状本体,筒状本体内具有容纳腔,用于装载基板;工装单元的容纳腔还具有下开口;下开口用于使基板的底侧露出在工装单元底端面外;打磨上组件安装在打磨下组件的上方,打磨上组件包括上工装板;上工装板安装有供水组件;打磨单元设置在打磨下组件的下方。本实用新型的一种用于陶瓷电容式压力传感器芯体基板的侧边打磨设备,去除基板侧边的毛刺,提高陶瓷电容式压力传感器芯体的可靠性,同时,可批量打磨,提高加工效率。
搜索关键词: 一种 用于 陶瓷 电容 压力传感器 芯体基板 侧边 打磨 设备
【主权项】:
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