[实用新型]一种用于激光直写光刻设备的激光功率计有效
| 申请号： | 202220324111.8 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN216668997U | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于激光直写光刻设备的激光功率计，包括一侧开设小孔的半封闭壳体，以及设置于所述半封闭壳体内部的凹透镜组、光学衰减片和能量探头，激光从小孔射入依次经过凹透镜组和光学衰减片，到达能量探头。本实用新型结构简单、成本低廉，便于集成到原有激光直写光刻设备上，可以利用设备空闲的间隙时间实现功率测量，不影响设备的正常工作，实现在线测量；对于有闭环控制系统的设备，还可以将其连接至闭环控制系统，完成功率测量的同时，实现更多功能扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 光刻 设备 功率 | ||
【主权项】：
暂无信息
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