[实用新型]加料管和具有其的单晶生长设备有效
| 申请号： | 202220328367.6 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN217556346U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏;邢微波 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 吴婷 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加料管和具有其的单晶生长设备，所述加料管用于单晶生长设备，所述单晶生长设备包括：坩埚和所述加料管，所述坩埚适于盛放硅熔汤，所述加料管包括：管本体，所述管本体限定出输料通道和多个用于储放硅原料的储料腔，多个所述储料腔均和所述输料通道连通，所述输料通道适于将多个所述储料腔内的硅原料投放至所述坩埚；开关组件，所述开关组件适于分别控制多个所述储料腔与所述输料通道的通断。根据本实用新型的加料管，更容易控制硅原料的投放量，也可以防止硅原料进入硅熔汤时造成的高温硅熔汤的飞溅，从而提升了单晶生长设备运行的安全性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 加料 具有 生长 设备 | ||
【主权项】：
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