[实用新型]一种腔室系统的泄压控制装置有效
| 申请号： | 202220377981.1 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN216895965U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张志明;刘雷;林桂荣;邢志刚 | 申请（专利权）人： | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/02 | 分类号： | F16K17/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201210 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种腔室系统的泄压控制装置，该系统包括：腔室，包括顶板、底板和侧板，所述顶板具有开口部；泄压板，位于所述开口部上，用于盖合所述开口部；密封部，包括至少2个密封件，所述密封部设于所述顶板和所述泄压板之间，相邻的所述密封件之间形成环形腔；真空装置，与所述环形腔连接，用于控制所述环形腔内的压力，使所述顶板与所述泄压板密封连接，当所述腔室内的压力达到开启压力时，所述泄压板开启，所述腔室内的气体由所述泄压板排出，本实用新型通过设置可精确控制开启压力的泄压板，避免了影响腔室内部件更换的耐压选择范围，增强了系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 控制 装置 | ||
【主权项】：
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