[实用新型]一种金刚石气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种金刚石气相沉积炉，包括进气管，所述进气管包括导气管以及连通导气管与沉淀反应箱的流速控制管道，所述流速控制管道内设有锥形内槽，所述锥形内槽内设有流速控制活塞，所述流速控制活塞包括一端固定的固定套筒、另一端轴向运动的活动套筒、以及连接固定套筒和活动套筒伸缩管；若气体流速较快，则会推动活动套筒向锥形内槽的最小直径处滑动，减小了活动套筒与锥形内槽之间的间隙，从而减小了气体流动速率；若气体流速较慢，在伸缩管的弹力下，活动套筒向锥形内槽的最大直径处滑动，扩大了活动套筒与锥形内槽之间的间隙，从而增大了气体流动速率，实现对流量的控制。