[实用新型]一种卷对卷镀膜设备的真空室结构有效
| 申请号： | 202220418234.8 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN216891197U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人： | 杨英华 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷对卷镀膜设备的真空室结构，包括真空容器和设于真空容器底部的支撑脚，真空容器内部设有真空室，该真空室的截面呈多边形结构。通过上述方式，本实用新型提供一种卷对卷镀膜设备的真空室结构，将真空室设置成多边形结构，内部的空间利用率高，有效缩短抽真空的抽气时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 真空 结构 | ||
【主权项】：
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