[实用新型]一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备有效
申请号: | 202220418235.2 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN216891198U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲 | 申请(专利权)人: | 广东腾胜科技创新有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35 |
代理公司: | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人: | 杨英华 |
地址: | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备,包括真空容器,真空容器内设有收放卷室和镀膜室,收放卷室设隔膜阀,收放卷室内设放卷系统和收卷系统,放卷系统输出基材进入镀膜室中,基材镀膜后复卷至收卷系统上。本实用新型在收放卷时,关闭隔膜阀,保持镀膜室的真空度不变,镀膜室和收放卷室相互独立,加快抽真空时间,有效提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 容器 结构 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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