[实用新型]一种开门式长晶机辅助取晶棒治具有效
| 申请号： | 202220447612.5 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN216972746U | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈志刚;王俊仁;万军召 | 申请（专利权）人： | 郑州合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 张晓萍 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种开门式长晶机辅助取晶棒治具。该治具结构为一中间设有圆形通孔的长方体或正方体结构，用于防止取晶棒过程中的晶棒坠落；其制备材质具体为铁氟龙；治具规格与开门式长晶机主炉室的炉口相适应，治具中部所设通孔与晶棒底部规格相适应。具体应用时，将本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具置于主炉室和炉盖之间，并手动将晶棒尾部对应置于本申请治具长方体中部的圆孔内，以从底部对晶棒给予支撑，以最大程度避免晶棒车夹紧过程中碰断籽晶、或者造成晶棒掉落进而造成损失。本申请所提供的开门式长晶机辅助取晶棒治具，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定取放具有较好的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开门 式长晶机 辅助 取晶棒治具 | ||
【主权项】：
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