[实用新型]一种晶圆平移机构及反应装置有效
| 申请号： | 202220482263.0 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN216862855U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;肖蕴章;杨方;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;B65G47/82 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 贾耀斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种晶圆平移机构及反应装置，涉及晶圆移动领域。所述晶圆平移机构包括：第一连接板、第一连接部、第一滑动组件、第二滑动组件、托盘、无杆气缸、第一惰轮组件、第二惰轮组件和过渡室，所述第一连接板上安装所述第一滑动组件，所述第一连接板上安装所述第二滑动组件，所述第二滑动组件上安装所述第一连接部，所述第一连接部上设置所述托盘，所述无杆气缸安装在所述过渡室内，所述无杆气缸的移动体与所述第一连接板相连，所述第一惰轮组件和所述第二惰轮组件均安装在所述第一连接板上。所述反应装置包括所述晶圆平移机构。通过第一惰轮组件和第二惰轮组件能将晶圆输送到更远的位置，提高晶圆输送效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平移 机构 反应 装置 | ||
【主权项】：
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