[实用新型]一种用于碳化硅晶片的研磨盘

摘要

本实用新型属于碳化硅晶片研磨盘技术领域，尤其为一种用于碳化硅晶片的研磨盘，包括安装底座、研磨盘本体和镀锌层，所述安装底座的底端安装有硅胶垫，所述研磨盘本体安装于安装底座的上端位置，所述研磨盘本体的外周套设有镀锌层，所述研磨盘本体的端侧安装有漏管，所述研磨盘本体的内端套设有抗压层和耐磨层。该用于碳化硅晶片的研磨盘，制造成本低，连接稳定，结合强度高，长时间使用不易生锈腐蚀，抗压耐磨性能较强，便于对研磨过程中产生的碎屑颗粒漏出，减少碎屑堆积度碳化硅晶片造成的破片刮裂现象，增加其使用寿命。