[实用新型]一种具有通风结构的蚀刻机有效
申请号: | 202220538908.8 | 申请日: | 2022-03-10 |
公开(公告)号: | CN217315046U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 廖开邦;张进德;莫东波;林港又;贺春荣;王诗林 | 申请(专利权)人: | 佛山市顺德区国邦电子有限公司 |
主分类号: | B08B15/04 | 分类号: | B08B15/04 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 廖奇丽 |
地址: | 528000 广东省佛山市顺德*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有通风结构的蚀刻机,其具有相互正交的上下、左右和前后方向,包括:箱体,箱体具有传输通道,传输通道沿前后方向延伸,箱体的至少一侧壁设置有通风口,通风口与传输通道连通;通风组件,通风组件包括通风驱动件和通风叶轮,通风驱动件连接于通风口,通风驱动件驱动连接通风叶轮且使通风叶轮转动,通风叶轮的转动轴线沿上下方向设置。在通风口设置通风叶轮,在通风驱动件的带动下使通风叶轮转动,通风叶轮高速旋转时在通风口形成一定的负压,从而能较快地将位于传输通道内的酸性气体抽出。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 通风 结构 蚀刻 | ||
【主权项】:
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