[实用新型]一种静电卡盘夹持装置有效
| 申请号： | 202220618109.1 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN217576729U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 陈茂雄;李君;石锗元;肖伟 | 申请（专利权）人： | 君原电子科技（海宁）有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/12 | 分类号： | B65G7/12 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 张娴 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电卡盘夹持装置，属于夹持装置技术领域，包括支撑板，所述支撑板的下侧壁上设有第一限位件和第二限位件，所述第二限位件与所述支撑板滑动连接，所述第二限位件与所述支撑板间通过滑动驱动组件连接，能够对静电卡盘进行夹持，降低静电卡盘掉落的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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