[实用新型]一种光罩版存取设备

摘要

本实用新型公开了一种光罩版存取设备，涉及产品输送技术领域，该存取设备包括存储架、传输装置，及滑动连接在存储架上的取放装置，传输装置位于存储架的一侧，且部分传输装置伸入存储架内并形成交接区域，取放装置的输出端正对于交接区域，存取设备还包括扫描装置，其安装于传输装置上，且扫描装置的拍摄端朝向传输装置的输送部位，其中，扫描装置与取放装置电性连接，传输装置用于传输待扫描光罩版，通过扫描装置对待扫描光罩版的表面进行图像扫描，并通过取放装置将光罩版存储于存储架上，通过这样的设置，具有节约光罩版管理时间，减少人力成本的效果，同时该设置还可有效地规避人工管理带来的异常风险。