[实用新型]一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置有效

专利信息
申请号: 202220633067.9 申请日: 2022-03-22
公开(公告)号: CN217222466U 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 韩建勋;刘长江 申请(专利权)人: 聚时领臻科技(浙江)有限公司
主分类号: B07C5/00 分类号: B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 襄阳蒲公英知识产权代理事务所(普通合伙) 42306 代理人: 张勇
地址: 310000 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及集成电路生产技术领域,具体为一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置,包括上料装置、检测装置、缓存装置和下料装置,所述上料装置包括电机和上料物料吸取装置,所述上料物料吸取装置用于吸取物料,所述电机用于将上料物料吸取装置及其吸取的物料驱动至检测装置。本实用新型整机布局结构合理,可实现快速上料,精确检测,同时可根据检测结果进行物料的准确分类,实现全自动化检测。解决了人工检测生产效率低,检测准确率受人为因素波动较大,整个过程费时费力的问题。
搜索关键词: 一种 集成电路 材料 表面 缺陷 检测 装置
【主权项】:
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