[实用新型]一种线路板的数字光刻系统有效
申请号: | 202220649017.X | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN217034508U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 王华;陈志特 | 申请(专利权)人: | 广东科视光学技术股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人: | 王晓艳 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种线路板的数字光刻系统,其包括机架以及组装于机架的光刻主体、第一平台、第二平台、传动组件、分板机构、拍板机构、移载机构、出料机构以及汇流机构,机架包括沿X轴、Y轴、Z轴方向延伸的若干悬梁,第一平台、第二平台分别位于光刻主体沿Y轴方向的两侧,分板机构、汇流机构分别位于光刻主体沿X轴方向的两侧,拍板机构包括分别位于分板机构沿Y轴方向的两侧的第一拍板机构、第二拍板机构,出料机构包括分别位于汇流机构沿Y轴方向的两侧的第一出料机构、第二出料机构。本实用新型通过光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理,从而大大提高了光刻效率,节省时间,节省成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 线路板 数字 光刻 系统 | ||
【主权项】:
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