[实用新型]晶圆自动涂源装置有效
| 申请号： | 202220661569.2 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217190503U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孟恒;刘君;夏祥军 | 申请（专利权）人： | 山东晶导微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C1/02 | 分类号： | B05C1/02;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) 37254 | 代理人： | 苟莎 |
| 地址： | 273100 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆自动涂源装置，属于晶圆涂源领域，包括机架及用于固定晶圆片的晶圆放置盘，晶圆放置盘在工作状态下呈旋转状态，其特征在于，还包括水平滑轨，水平移动支架与水平滑轨以滑动方式相连；顶升机构、毛笔连接架、执笔夹、毛笔、试剂瓶，毛笔与执笔夹固定相连，其前端为刷头；及输送管，其与毛笔连接架固定相连，输送管的一端深入试剂瓶内，输送管的另一端伸入毛笔的刷头中并与刷头保持相对固定；本实用新型无需蘸取动作即可保证毛笔刷头上源液的稳定供给，且避免了摆臂的动作，避免摆臂导致的甩溅等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 装置 | ||
【主权项】：
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