[实用新型]一种还原炉启停炉分开抽真空装置有效
| 申请号： | 202220667988.7 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217424000U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 张文龙;赵贺领;丁继中;贺凯;张廷芳 | 申请（专利权）人： | 青海丽豪半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;C01B33/021 |
| 代理公司： | 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 | 代理人： | 张艳花 |
| 地址： | 810100 青海省西宁市城中区*** | 国省代码： | 青海;63 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种还原炉启停炉分开抽真空装置，涉及抽真空装置技术领域，本实用新型包括还原炉启炉和还原炉停炉，还原炉启炉和还原炉停炉的侧面设有抽真空组件。本实用新型为一种还原炉启停炉分开抽真空装置，通过设置抽真空组件，在对还原炉启炉和还原炉停炉进行抽真空时，分别启动还原炉启炉和还原炉停炉处的真空泵，通过真空泵和抽真空管道，便于对还原炉启炉和还原炉停炉进行抽真空，通过真空泵和抽真空管道的配合使用，可以单独的对还原炉启炉和还原炉停炉进行抽真空，避免了还原炉启炉和还原炉停炉公用一条管道引起火宅爆炸风险的同时也实现了工艺的本质安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 还原 炉启停炉 分开 真空 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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