[实用新型]一种半导体多级循环清洗装置有效
| 申请号： | 202220670346.2 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN216937394U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 赵红武;崔志刚;范磊 | 申请（专利权）人： | 武汉芯致半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳信科专利代理事务所(普通合伙) 44500 | 代理人： | 姜威 |
| 地址： | 436000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体多级循环清洗装置,包括底座，所述底座的上端设置有固定架，且固定架的内侧设置有浸泡箱，并且固定架的外侧设置有喷淋箱，所述浸泡箱的上侧设置有放置架，且放置架的两端连接有从动轴，所述从动轴的外侧转动连接有吊装板，且吊装板的上端连接有连接块，所述连接块的上端连接有活塞杆，且活塞杆的上端连接有气缸，所述喷淋箱的上端设置有循环泵，且循环泵的一侧连接有输液管。本实用新型解决了现有半导体清洗方式只能通过浸泡的方式在静止状态下进行，且载具与半导体接触面较多，无法充分与清洗液接触，从而导致半导体元件清洗效果较差，并且载具对半导体的放置固定较为麻烦，增加了时间成本的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 多级 循环 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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