[实用新型]微机电系统MEMS管芯和麦克风装置有效
| 申请号： | 202220727113.1 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217240931U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 林宏谦;陈立丞 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R7/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王青芝;王小东 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微机电系统MEMS管芯和麦克风装置。MEMS管芯包括：基板，该基板中形成有开口；以及振膜，该振膜围绕其外周附接至基板并且在该开口上方，其中，该振膜包括间隔开的第一层和第二层。将背板设置在间隔开的第一层与第二层之间。将一个或更多个柱状支承件通过贯穿该背板设置的孔来设置，并且连接该间隔开的第一层与第二层。在间隔开的第一层与第二层的至少一部分之间存在至少部分真空。第一层还包括至少接近所述一个或更多个柱状支承件中的各个柱状支承件的内部子层和外部子层，其中，该内部子层包括贯穿该内部子层设置的一个或更多个孔缝。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 管芯 麦克风 装置 | ||
【主权项】：
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