[实用新型]一种捡晶机入料区tray盘防反向装置有效
| 申请号： | 202220776839.4 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN217009141U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 陈广顺;孟强;姜红涛;卫寿兰 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体捡晶设备领域内的一种捡晶机入料区tray盘防反向装置，包括捡晶入料区，所述捡晶入料区包括四根两两对应分布的竖直固定导向柱，tray盘呈矩形，tray盘的任一边角处设置有定位缺口，固定导向柱上均对应tray盘的边角开设有竖直的导向槽，tray盘的边角与对应导向槽相匹配设置，固定导向柱的顶端均开设有固定螺纹孔，任一固定导向柱上固定连接有定位件，所述定位件包括连为一体的水平固定板和竖直定位板，固定板通过紧固螺栓与相应固定导向柱的固定螺纹孔相连接，定位板位于相应导向槽内，定位板的左右两侧边分别抵靠导向槽的两侧内壁设置，定位板背面与tray盘的定位缺口相对设置。本实用新型能够将定位件固定在入料区，防止tray盘反向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 捡晶机入料区 tray 反向 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
